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■ 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁净度等级(N)
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2
100
24
4
3
1000
237
102
35
8
4(十级)
10000
2370
1020
352
83
5(百级)
100000
23700
10200
3520
832
29
6(千级)
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7(万级)
352000
83200
2930
8(十万级)
3520000
832000
29300
9(一百万级)
35200000
8320000
293000
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